鲁大师高清国语免费观看,日韩人妻精品一区二区三区,俺也去网站,台湾成人导航

LAUDA 勞達(dá)貿(mào)易(上海)有限公司

服務(wù)熱線:4000866580
您的位置: 首頁>技術(shù)文章>半導(dǎo)體行業(yè)的溫度控制解決方案 (三):用于等離子體刻蝕系統(tǒng)的精準(zhǔn)溫控

半導(dǎo)體行業(yè)的溫度控制解決方案 (三):用于等離子體刻蝕系統(tǒng)的精準(zhǔn)溫控

更新時(shí)間:2025-04-27
圖片


Empowering Excellence. For a better future. | °LAUDA




半導(dǎo)體工業(yè)的溫度控制解決方案 

系列三:等離子體刻蝕系統(tǒng)的精準(zhǔn)溫控




等離子體刻蝕(干法刻蝕)

圖片

在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,尤其在生產(chǎn)電子設(shè)備所需的復(fù)雜電路時(shí),等離子體刻蝕是所需的基本工藝。

等離子體刻蝕又稱干法刻蝕,在此工藝過程中,晶圓暴露在真空刻蝕室的等離子體中,受到等離子體中離子的轟擊,從而可以去除表面未被光刻膠保護(hù)的材料。

由于等離子體的溫度會(huì)影響刻蝕過程的速度和效率。在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,對(duì)等離子體進(jìn)行高精度的溫度控制非常重要。

晶圓的加工級(jí)別在微米級(jí)和納米級(jí)之間,即使溫度只是發(fā)生了微小的變化,也會(huì)導(dǎo)致蝕刻結(jié)構(gòu)的尺寸和形狀發(fā)生顯著變化。




刻蝕系統(tǒng)的溫度控制

圖片
圖片


LAUDA 為等離子體刻蝕這一敏感工藝,提供專門設(shè)計(jì)的 Semistat 系列。

基于久經(jīng)考驗(yàn)的珀?duì)柼麑?dǎo)熱原理,LAUDA Semistat 工藝恒溫器可對(duì)等離子體刻蝕進(jìn)行可重復(fù)的溫度控制。Semistat 可以對(duì)靜電晶圓吸盤(ESC)進(jìn)行動(dòng)態(tài)溫度控制,是適用于各種等離子體刻蝕工藝的通用 TCU。Semistat 節(jié)能、省空間、溫度控制穩(wěn)定。




Lauda semistat 工藝恒溫器

圖片

開創(chuàng)性的珀?duì)柼銣仄鳎簽橐罂量痰墓に?,提供快速精?zhǔn)的溫度控制。


用于半導(dǎo)體行業(yè)的,?20 到 90 °C 的熱電工藝恒溫器:

• 制冷功率, 從 1.2 到 4.4 kW

• 加熱功率, 從 3 到 12 kW


技術(shù)參數(shù):


_

S 1200

溫度穩(wěn)定性

0.1 ℃

制冷功率(20℃)

1.2 kW

最大排放壓力

2.8 Bar

最大流量

22 L/min

最大填充體積

1 L

設(shè)備尺寸

116*232*500


_

S 2400

溫度穩(wěn)定性

0.1 ℃

制冷功率(20℃)

2.45 kW

最大排放壓力

2.8 Bar

最大流量

24 L/min

最大填充體積

1.25 L

設(shè)備尺寸

116*300*560


_

S 4400

溫度穩(wěn)定性

0.1 ℃

制冷功率(20℃)

4.4 kW

最大排放壓力

2.8 Bar

最大流量

27 L/min

最大填充體積

2.8 L

設(shè)備尺寸

194*300*560


產(chǎn)品優(yōu)勢:

•     無需制冷劑

•     體積小,節(jié)省寶貴的潔凈室空間

•     導(dǎo)熱液體的消耗量少

•     無需經(jīng)常維護(hù)

•     大幅減少導(dǎo)熱液體的使用量,節(jié)省成本




針對(duì)應(yīng)用進(jìn)行了優(yōu)化的

高能效的恒溫設(shè)備


基于珀?duì)柼淼?LAUDA Semistat ,用于控制等離子刻蝕應(yīng)用的溫度,在運(yùn)行過程中會(huì)及其節(jié)能。


熱電式恒溫器和壓縮機(jī)式恒溫器相比較,有以下優(yōu)勢:


壓縮機(jī)式

熱電式

圖片

需要填充較多的導(dǎo)熱液體:

  • 20 - 30 L

圖片

只需要填充少量的導(dǎo)熱液體:

  • < 3 L

和被控溫設(shè)備之間,需使用長管連接:

  • 長至 20 m

和被控溫設(shè)備之間,只需使用短管連接:

  • 2 - 4 m

靜態(tài)溫度控制

•     大體積的導(dǎo)熱液體

•     遠(yuǎn)離應(yīng)用

•     加熱/冷卻速度慢


動(dòng)態(tài)溫度控制

•     小體積的導(dǎo)熱液體

•     靠近應(yīng)用

•     快速加熱/ 冷卻


有溫度漂移和晶圓間一致性的問題

靜電吸盤溫度均勻


圖片
圖片


由上述可見,這些優(yōu)勢提高了等離子刻蝕工藝中熱電恒溫設(shè)備的效率,并顯著降低了能耗。


基于實(shí)際客戶應(yīng)用,我們對(duì) LAUDA Semistat S 2400 恒溫器和競爭對(duì)手的恒溫器進(jìn)行了比較測量。


圖片

我們根據(jù)測量出的耗電量,確定了各自的成本,并計(jì)算出了所節(jié)省的電量。

相比之下,LAUDA Semistat S 2400 可節(jié)省 90%的電量。


圖片

同時(shí),根據(jù)測量的加熱和冷卻速率,確定了升降溫時(shí)間,并計(jì)算出了所節(jié)省的時(shí)間。熱電型設(shè)備的冷卻和加熱時(shí)間(斜率下降和斜率上升時(shí)間)也明顯少于用壓縮機(jī)型恒溫設(shè)備。

相比之下,LAUDA Semistat S 2400 可節(jié)省高達(dá) 67% 的冷卻時(shí)間,和 81% 的加熱時(shí)間。




關(guān)注我們!

了解更多半導(dǎo)體工藝的溫度控制

圖片


圖片
圖片
圖片
圖片

前道工藝

圖片
圖片
圖片
圖片
圖片
圖片
圖片
圖片

后道工藝

圖片



亚洲综合激情| 九色300.com| 色月| 婷婷视频在线| 亚洲AⅤ无码精品色午夜福利| 狠狠做五月深爱婷婷天天综合| 久久一区二区三区四区| 国产精品日本| 久久亚洲高清| 亚洲欧美一区二区三区在钱蜜桃| 五月av| 瑞金市| 久久国产综合| 欧洲中文字幕久久一区二区蜜乳 | a吖天堂网2019| 国产成人精品一区二区三区| 亚洲国产系列久久精品99人人| 91自产国偷拍在线| 亚洲欧美日韩一二区| 欧美日韩成人精品| 天堂福利久久| 密臀 91| 欧美体内she精高潮| 亚洲中文无码电影网| 色综合色综合蘑菇在线| 看黄网站| 极品少妇被啪到呻吟喷水 | 午夜激情电影一区| 大香蕉91| 成人中文字幕亚洲无码| 国产午夜福利不卡在线| xxx69xxxcom| 亚洲欧美最新中文字幕一本色道| 日韩字幕欧美在线观看网站| 国产高清av| 红杏中文第一社区| 日韩精品人妻系列成人网站| 国产午夜精品一区理论片| 日本三级电影大全中文字幕| 精品国产一区二区三区AV麻软件| 亚洲国产AⅤ精品一区二区的游戏|